فارسی English
کارگاه يکروزه فناوری ريزماشينکاری در ساخت ادوات الکترومکانيکی


دکتر مهاجرزاده
دانشکده برق و کامپیوتر،
پردیس دانشکده های فنی، دانشگاه تهران

دکتر برازنده، دکتر یغمایی
دانشگاه صنعتی امیرکبیر



پيشرفت روز افزون افزاره های ريزماشينکاری يا MEMS و ارتباط اين فناوری با ساير فناوريها چه در حوزه الکترونيک چه در حوزه های ديگر مانند مخابرات- کنترل و بيوتکنولوژی زمينه های رشد اين فناوری را در جهان و در کشور باز کرده است. با توجه به محدوديتهای ساخت در کشور در حوزه الکترونيک و مدارات مجتمع، توجه ويژه ای به اين حوزه معطوف شده است زيرا با شرايط ساده تری از نظر ليتوگرافی و تجهيزات قابل تحقق می باشد. اگرچه اين فناوری در کشور مورد توجه قرار گرفته است و دانشجويان زيادی در آن مشغول تحقيق و تفحص می باشند، اما با توجه به محدوديتهای آزمايشگاهی در دانشگاه ها و مراکز تحقيقاتی در کشور ، بيشتر اين تحقيقات در حوزه شبيه سازی و مدل سازی متمرکز شده است و کمبود امکانات عملا محققين را از رسيدن به نتايج عملی باز داشته است. در اين راستا توجه خاصی در دانشگاه تهران به ساخت ادوات ريزماشينکاری و تکنيکهای مربوطه معطوف شده است که همزمان با برگزاری کنفرانس مهندسی برق وکامپيوتر در اين دانشگاه ، امکان ارائه برخی نتايج اين تحقيقات بصورت عمومی و بصورت يک کارگاه يکروزه محقق شده است. لازم بذکر است که تحقيقات گسترده ای در آزمايشگاه لايه نازک و نانو الکترونيک دانشکده مهندسی برق و کامپيوتر دانشگاه تهران انجام شده است که طی آن برخی سنسورهای فشار و شتاب، ترانزيستورهای اثر ميدان با گيت نانوساختار و ساختارهای نانوالکترومکانيکی با استفاده از نانولوله های کربنی محقق شده-اند. برخی حوزه های جالب مانند کاربرد ميکرو و نانوساختارها در تشخيص سلولهای سرطانی ؛ پمپهای الکترومکانيکی برای مغز و موارد مشابه در اين کارگاه ارائه خواهد گرديد.
اين کارگاه در يک روز و بصورت سه ساعت سخنرانی با جزييات ساخت و معرفی ساختارهای پيشرفته در حوزه الکترومکانيک و نيز يک گردش علمی در آزمايشگاه لايه نازک و نانو الکترونيک انجام خواهد شد. در اين گردش علمی سعی خواهد شد که علاوه بر بازديد از آزمايشگاه و آشنايي کلی با دستگاه ها و پروسه های مهم در ساخت ادوات الکترومکانيکی شامل ليتوگرافی- لايه برداری پلاسمايي و لايه برداری شيميايي ، رونشست برخی لايه های مهم مانند نيتريد سيليکان که در MEMS کاربرد تعيين کننده ای دارند، با برخی پروسه های ساخت و ميکروسکوپ الکتروني(SEM) آشنايي کوتاه و مختصری محقق گردد. اين کارگاه توسط سه تن از اعضای هيئت علمی دانشگاه تهران به همراه دو تن از از اعضای هيئت علمی دانشگاه اميرکبير و برخی دانشجويان دکتری و فارغ التحصيلان ارائه خواهد شد.

بیستمین کنفرانس مهندسی برق ایران

ICEE 2012، تهران، ایران