ارائه یک سوئیچ جدید MEMS به منظور کاهش اثر خودتحریکی و چسبندگی
Keywords:
توان­های قابل حمل بالا, چسبندگی, خودتحریکی, سوئیچ MEMS, قابلیت اطمینان
Abstract:
در این مقاله یک ساختار جدید برای سوئیچ­های میکروالکترومکانیکی نوع موازی ارائه شده است . مشخصه بارز سوئیچ پیشنهاد شده ایزوله شدن بخش مرکزی بازو از زمین است, که باعث کاهش پدیده­های خودتحریکی و چسبندگی (به دلیل ولتاژ موثر حاصل از سیگنال­های با توان بالا) در این ساختار شده است. کاهش پدیده­های خودتحریکی و چسبندگی در سوئیچ­های میکروالکترومکانیکی می­تواند باعث افزایش توان قابل حمل این سوئیچ­ها و همچنین افزایش قابلیت اطمینان آنها در توان­های بالا شود. از سوی دیگر ایزوله شدن بخش مرکزی باعث بهبود پارامترهای پراکندگی در حالت عدم تحریک سوئیچ می­شود. . با توجه به نتایج شبیه سازی, مقدار تلفات داخلی سوئیچ در حالت عدم تحریک, در فرکانس­های GHz10 و GHz50 به ترتیب برابر با dB 0. 02 و dB 0. 18 است. از طرف دیگر مقدار ایزولاسیون این سوئیچ در حالت تحریک برابر dB 14 و dB 30 در فرکانس­های GHz 10 و GHz 50 می­باشد. نتایج ارائه شده در این مقاله با استفاده از نرم افزارهای HFSS و COMSOL به دست آمده است.